本發(fā)明公開一種能無損的檢查檢查對象的表面及內(nèi)部的斷層攝影檢查裝置及方法。所述斷層攝影檢查裝置,包括:光源,其產(chǎn)生向檢查對象的內(nèi)部照射的測量光;分束器,其將所述測量光分割為參考光和測量光,將參考光照射至參考鏡,并將測量光照射至檢查對象,使在參考鏡反射的參考反射光和在檢查對象散射以及反射的信號(hào)反射光重疊來產(chǎn)生干涉光;掃描部,其將在所述分束器分割的測量光引導(dǎo)至檢查對象的檢查位置;散射濾波器,其安裝于在檢查對象反射的反射光的路徑上,使在檢查對象反射的反射光散射,使引導(dǎo)至分束器的信號(hào)反射光的強(qiáng)度增加;以及光電檢測器,其檢測所述干涉光,以獲得檢查對象的內(nèi)部影像信號(hào)。
聲明:
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