本發(fā)明涉及一種金屬氧化陶瓷層測厚系統(tǒng)及其測厚方法，其中測厚系統(tǒng)包括紅外光源、干涉儀、探測器及數(shù)據(jù)處理器，紅外光源發(fā)出的紅外光經(jīng)過干涉儀，干涉儀用于將紅外光產(chǎn)生干涉形成干涉光，并將干涉光射向試樣品，探測器收集反射光，數(shù)據(jù)處理器用于接收探測器傳遞過來的反射光信號，并輸出所測位置處的干涉圖。充分利用了金屬氧化陶瓷層在不同厚度條件下紅外干涉光信號的變化特征，實現(xiàn)了準確和快速的無損測量，對檢測部位無任何損傷，因此可以對鋯及鋯合金表面氧化層進行全面檢驗，并且不受表面曲率/形狀等因素影響。