一種面內(nèi)位移和離面位移同時(shí)測(cè)量的激光散斑測(cè)量裝置和方法。本發(fā)明利用面內(nèi)位移的激光散斑干涉測(cè)量光路與離面位移的激光散斑干涉測(cè)量光路相結(jié)合的方法,通過(guò)一次布置光路,同時(shí)實(shí)現(xiàn)被測(cè)物體面內(nèi)位移和離面位移分布信息的測(cè)量。本發(fā)明所述的裝置和方法具有簡(jiǎn)單易行、快速、準(zhǔn)確的特點(diǎn),可廣泛應(yīng)用于光電無(wú)損檢測(cè)等領(lǐng)域的微小位移的實(shí)時(shí)、高精度可靠測(cè)量。
聲明:
“面內(nèi)位移和離面位移同時(shí)測(cè)量的激光散斑測(cè)量裝置和方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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