本實用新型屬于半導(dǎo)體光電子器件封測技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種用于LED外延片光電參數(shù)測試的EL快速測試儀,包括P型接觸探針支架,所述P型接觸探針支架固定有液態(tài)金屬探針機(jī)構(gòu),所述液態(tài)金屬探針機(jī)構(gòu)包括液態(tài)金屬存儲容器、毛細(xì)管探針頭和金屬接觸電極,所述毛細(xì)管探針頭可拆卸安裝于液態(tài)金屬存儲容器下端,所述毛細(xì)管探針頭內(nèi)部流有液態(tài)金屬,所述金屬接觸電極的一端與液態(tài)金屬接觸,另一端連接信號處理系統(tǒng)。采用鎵銦錫合金液態(tài)金屬探針,使得測試探針與樣品表面軟接觸,不易劃傷樣品表面,達(dá)到無損傷表面接觸。并且液態(tài)金屬在張力的作用下能夠有效的控制接觸面積穩(wěn)定性,從而提高測試精度。
聲明:
“用于LED外延片光電參數(shù)測試的EL快速測試儀” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)