本發(fā)明公開了一種基于空間載波的雙方向剪切散斑干涉系統(tǒng)及測量方法,其特征是:不同波長的第一光源和第二光源的出射光經(jīng)擴束后同時照射測量面;測量面漫反射的光經(jīng)成像透鏡、光闌、4f系統(tǒng)和分光棱鏡后分成兩束光;兩束光通過濾波片成為兩個單一波長的光束,分別經(jīng)過兩個邁克爾遜剪切裝置在不同方向上引入剪切量;兩不同剪切方向的光經(jīng)分光棱鏡照射CCD靶面上。本發(fā)明可對被測物的缺陷進行雙方向同步檢測,是一種無損、全場、高效的測量方法。
聲明:
“基于空間載波的雙方向剪切散斑干涉系統(tǒng)及測量方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)