本發(fā)明屬于光學(xué)精密測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種差動(dòng)共焦(共焦)干涉元件多參數(shù)測(cè)量方法與裝置。本發(fā)明的核心思想是利用差動(dòng)共焦(共焦)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量球面元件表面曲率半徑、透鏡頂焦距、透鏡折射率、透鏡厚度以及鏡組軸向間隙,利用面形干涉測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量元件表面面形,可實(shí)現(xiàn)元件多個(gè)參數(shù)的同時(shí)測(cè)量,測(cè)量精度高。本發(fā)明首次將差動(dòng)共焦(共焦)探測(cè)系統(tǒng)和面形干涉測(cè)量系統(tǒng)相融合,測(cè)量參數(shù)全面,且在元件多個(gè)參數(shù)測(cè)量過程中,無需重新調(diào)整光路,拆卸被測(cè)元件,對(duì)被測(cè)元件無損傷,測(cè)量速度快。
聲明:
“差動(dòng)共焦干涉元件多參數(shù)測(cè)量方法與裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)