本發(fā)明是一種自動變焦三維形貌測量系統(tǒng)及方法,該測量系統(tǒng)由光源照明系統(tǒng)、第一tube透鏡、CCD采集系統(tǒng)、第二tube透鏡、分光鏡、顯微鏡頭和壓電陶瓷組成。該測量方法具體是先縱向掃描物體,然后采集一組攜帶物體高度信息的圖片,接著使用基于拉普拉斯算子的聚焦評價函數(shù)解析圖片得到像素點的聚焦評價函數(shù)值曲線,最后結(jié)合高斯曲線擬合算法得到像素點準(zhǔn)確聚焦的位置,進(jìn)而恢復(fù)物體三維形貌。本發(fā)明具有構(gòu)思合理、測量方式簡單、測量系統(tǒng)結(jié)構(gòu)更為簡單、無損傷、效率高、適用廣等優(yōu)點,具有廣泛的應(yīng)用前景。
聲明:
“自動變焦三維形貌測量系統(tǒng)及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)