本發(fā)明公開了基于條紋成像投影的顯微三維形貌測量裝置,包括順序連接的He?Ne激光器、第一擴束系統(tǒng)、偏振分光鏡、λ/2波片、空間光調(diào)制器、第一透鏡、λ/4波片、第二擴束系統(tǒng)、空間濾波器、第二透鏡、聚光鏡、第一孔徑光闌、投射顯微物鏡、成像顯微物鏡、第二孔徑光闌、筒鏡和CCD相機,其中,空間濾波器和第二透鏡之間設(shè)有反光板,待測物體放置于投射顯微物鏡與成像顯微物鏡之間的帶有水平面板的工作臺的水平面板上,CCD相機外接計算機。這種裝置靈活高效、具有較大的動態(tài)測量范圍、能降低光路的成本,增強測量的靈活,可實現(xiàn)相移測量,具備高精度、高垂直分辨率、測量簡單快捷、無損優(yōu)點。
聲明:
“基于條紋成像投影的顯微三維形貌測量裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)