一種太陽電池少數(shù)載流子壽命分析儀,微波系統(tǒng)由微波源、隔離器、衰減器、魔T、短路活塞、微波晶體檢波器、變?nèi)荻?jí)管、面天線組成,數(shù)據(jù)采集及處理系統(tǒng)由數(shù)據(jù)采集器、計(jì)算機(jī)組成,采用四矩形微帶面天線實(shí)現(xiàn)微波信號(hào)向被測(cè)樣品的輸出和對(duì)發(fā)射微波的接收,專用的信號(hào)調(diào)理與放大電路對(duì)微波晶體檢波器輸出的信號(hào)進(jìn)行隔直、差分、放大、屏蔽、濾波,再進(jìn)入數(shù)據(jù)采集器,獲得光電導(dǎo)衰退曲線的數(shù)字量。本發(fā)明采用微波反射法耦合光電導(dǎo)信號(hào),通過測(cè)量微波反射功率的變化來測(cè)量光電導(dǎo)的變化,從光電導(dǎo)衰退曲線計(jì)算被測(cè)硅片和太陽電池的少子壽命,實(shí)現(xiàn)了對(duì)太陽電池器件和材料進(jìn)行在線微波反射無損非接觸測(cè)量。