本實(shí)用新型涉及一種紅外熱波層析成像無損檢測裝置,采用高功率激光束,由激光掃描裝置對樣品的表面進(jìn)行快速掃描,實(shí)現(xiàn)脈沖熱激勵。本實(shí)用新型系統(tǒng)包括包括數(shù)據(jù)采集單元、掃描控制單元、高功率激光器、紅外熱像儀、激光掃描裝置等。激光器輸出光束在樣品表面上進(jìn)行掃描,激發(fā)的熱波信號由紅外熱像儀成像并送到數(shù)據(jù)采集控制單元。數(shù)據(jù)采集控制單元同時控制振鏡和紅外熱像儀,使得激光束掃描的行頻和紅外熱像儀的讀出行頻一致,但幀頻之間有一步進(jìn)的延遲增量。目前的紅外熱波層析成像的采樣周期受限于紅外熱像儀的幀頻,本實(shí)用新型采用激光移相掃描技術(shù)有效地解決了這個問題,使得檢測的時間分辨率大幅提高,采樣周期從傳統(tǒng)的幀頻提高到行頻,達(dá)到微秒量級,十分有利于淺層缺陷的檢測。
聲明:
“激光掃描熱波層析成像裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)