本發(fā)明公開了一種用于定量測(cè)定神經(jīng)細(xì)胞量子釋放的雙模(電生理信號(hào)和電化學(xué)信號(hào)兩種模式信號(hào))超微平面陣列傳感器的制備方法。結(jié)合雙層布線設(shè)計(jì)、高精度步進(jìn)光刻工藝和分區(qū)隔離設(shè)計(jì)制備超微平面電極(0.5～5μm)，在電極陣列表面進(jìn)行定向納米修飾、生物兼容性修飾和特異識(shí)別酶修飾相結(jié)合的方法制備雙模平面超微電極陣列傳感器。采用微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)、納米修飾技術(shù)和生物修飾技術(shù)相結(jié)合的方法制備雙模平面超微電極陣列?？朔顺Ｒ?guī)平面微電極的電極位點(diǎn)尺寸偏大(10～50μm)和棒狀碳纖電極的單個(gè)位點(diǎn)檢測(cè)的局限性。該方法制備超微平面電極陣列具有電極位點(diǎn)小、記錄點(diǎn)多、對(duì)神經(jīng)細(xì)胞無損傷、可同時(shí)原位實(shí)時(shí)檢測(cè)多個(gè)神經(jīng)細(xì)胞的神經(jīng)遞質(zhì)量子釋放和電生理動(dòng)作電位信號(hào)的雙模信息。