本實(shí)用新型涉及一種全動(dòng)式剪切/干涉鏡。它由一個(gè)分光鏡、兩個(gè)反射鏡和激光擴(kuò)束器組成,一個(gè)反射鏡可控平移,另一個(gè)反射鏡可控偏轉(zhuǎn),激光擴(kuò)束器以活動(dòng)鉸鏈機(jī)構(gòu)連接安裝,可控偏轉(zhuǎn)的反射鏡可拆卸,從而可實(shí)現(xiàn)多模式無損檢測方式,可調(diào)整測量靈敏度和靈敏度方向,引入相移,實(shí)現(xiàn)圖像自動(dòng)分析。
聲明:
“全動(dòng)式剪切/干涉鏡” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)