本發(fā)明公開了一種多路激光發(fā)射裝置,屬于
半導體材料無損檢測技術領域。該多路激光發(fā)射裝置包括多路分光棱鏡和激光器,多路分光棱鏡包括多個分光面,多個分光面之間平行,多個分光面與水平方向的夾角分別為45°,多個分光面的中心處在同一直線上,激光器發(fā)射的激光沿著與直線的垂直方向射向其中一處于最外側的分光面,通過給多個分光面賦予差異化的反射率和透射率,使得經過多個分光面透射或者反射的多路出射光光強相同,激光器內部增設反饋電路。該多路激光發(fā)射裝置能夠增強激光器的輸出功率和波長的穩(wěn)定性。
聲明:
“多路激光發(fā)射裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)