本發(fā)明涉及一種材料表面粗糙度的確定方法及系統(tǒng)。該方法包括獲取材料集合;利用掃描電子顯微鏡對(duì)所述材料集合中的材料進(jìn)行掃描,確定二次電子像集合;對(duì)所述二次電子像集合進(jìn)行灰度處理,得到灰度圖像集合;根據(jù)灰度圖像集合每一灰度圖像對(duì)應(yīng)的灰度值與對(duì)應(yīng)的表面粗糙度確定灰度值與表面粗糙度的對(duì)應(yīng)關(guān)系曲線;獲取待確定的材料;利用掃描電子顯微鏡對(duì)待確定的材料進(jìn)行掃描,確定二次電子像;并對(duì)二次電子像進(jìn)行灰度處理;根據(jù)灰度處理后的二次電子像的灰度值以及灰度值與表面粗糙度的對(duì)應(yīng)關(guān)系曲線確定待確定的材料的表面粗糙度。本發(fā)明在真空條件下進(jìn)行非接觸式測量,樣品不易受污染且無損傷,并具有易精確控制、工藝簡單的優(yōu)點(diǎn)。
聲明:
“材料表面粗糙度的確定方法及系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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