本發(fā)明提供一種異形金屬基底上的應(yīng)變傳感器芯片及其原位制備方法，將異形金屬構(gòu)件作為金屬基底，在金屬基底的易變形部位上原位制備薄膜敏感柵，包括：設(shè)置于金屬基底上的絕緣隔離層；設(shè)置于絕緣隔離層上的薄膜應(yīng)變柵層；設(shè)置于薄膜應(yīng)變柵層上方的絕緣保護(hù)層，絕緣保護(hù)層覆蓋薄膜應(yīng)變柵層的應(yīng)變柵區(qū)域，同時(shí)露出薄膜應(yīng)變柵層的引線電極；當(dāng)異形金屬構(gòu)件發(fā)生變形時(shí)，薄膜應(yīng)變柵層的電阻值會(huì)產(chǎn)生變化，通過(guò)薄膜應(yīng)變柵層電阻值的變化能得到異形金屬構(gòu)件所受的物理量。本發(fā)明基于異形金屬基底上原位制備，能夠?qū)崿F(xiàn)機(jī)械傳動(dòng)部件應(yīng)變/扭矩的原位、無(wú)損傷測(cè)量，且省去了傳統(tǒng)粘結(jié)劑的使用，在高濕、鹽霧、霉菌等海洋環(huán)境和太空輻照等環(huán)境具有更高的可靠性。