本發(fā)明公開了一種改進(jìn)的多尺度高溫散斑制備方法,包括以下步驟:1.確定并優(yōu)化數(shù)字散斑場特征參數(shù),生成優(yōu)化后的多尺度模擬散斑圖,并將其轉(zhuǎn)化為CAD文件;2.在試件表面進(jìn)行雙層膜鍍膜;3.用飛秒激光系統(tǒng)對與所述試件同樣進(jìn)行雙層膜鍍膜的玻璃片或者硅片上進(jìn)行散斑制作的工藝測試,根據(jù)外層鍍膜厚度設(shè)計微觀尺度散斑微孔深度和宏觀尺度散斑孔的深度,獲得各尺度散斑直徑以及散斑深度下的飛秒激光系統(tǒng)的激光脈沖參數(shù);4.在試件表面的雙層膜上進(jìn)行刻蝕得到多尺度散斑圖案。本發(fā)明對試件本身表面無損,在高溫環(huán)境下不易脫落,并可增強試件耐高溫、抗腐蝕等能力。
聲明:
“改進(jìn)的多尺度高溫散斑制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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