本發(fā)明公開了一種高穩(wěn)定性單晶硅壓差傳感器,所述高穩(wěn)定性單晶硅壓差傳感器包括有傳感器殼體,所述傳感器殼體包括有傳感器正壓腔,傳感器負壓腔,以及設(shè)置于傳感器殼體內(nèi)部的傳感器
芯片;傳感器正壓腔中設(shè)置連通至傳感器芯片下端面的第一通油孔,傳感器負壓腔中設(shè)置有連通至傳感器芯片上端面的第二通油孔;所述傳感器殼體中設(shè)置有,由傳感器殼體外部分別連通至第一通油孔與第二通油孔的充油管道;所述傳感器芯片連接有電性接口;采用上述技術(shù)方案的高穩(wěn)定性單晶硅壓差傳感器,其可通過硅油進行壓力的無損傳遞,以實現(xiàn)對壓力差的精確測量,從而有效改善了壓差傳感器的靜壓性能,進而使得上述壓差傳感器的工作穩(wěn)定性得以提高。
聲明:
“高穩(wěn)定性單晶硅壓差傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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