本文描述了用于分析晶圓的失效指標(biāo)的方法和設(shè)備以及計算機可讀介質(zhì)。在此描述的用于分析晶圓的失效指標(biāo)的方法包括:針對多個批次的晶圓,分別確定制造工藝的多個工序的晶圓隨機化標(biāo)識符與表示失效程度的失效指標(biāo)之間的擬合關(guān)系;針對所述多個工序,分別基于與所述多個批次中的參考批次的晶圓相對應(yīng)的擬合關(guān)系和與所述多個批次中的其余批次的晶圓相對應(yīng)的擬合關(guān)系之間的比較,確定相應(yīng)的相似度值;以及基于與所述多個工序分別相對應(yīng)的所述相似度值,確定所述多個工序中的至少一個工序的所述晶圓隨機化標(biāo)識符與對應(yīng)于所述失效指標(biāo)的失效問題之間的相關(guān)性。
聲明:
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