本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體器件主位線失效的檢測方法和檢測系統(tǒng)。該檢測方法包括:選取至少2條字線,分別位于存儲陣列不同的物理扇區(qū);逐一測量所選字線與每一局部位線交叉位置處存儲單元的工作電流;若測量工作電流大于基準(zhǔn)工作電流,則判定該存儲單元為異常存儲單元;反之,則判定該存儲單元為正常存儲單元;對應(yīng)每一局部位線,如果在所選字線上的存儲單元均為異常存儲單元,則判定控制該局部位線的主位線失效;如果在所選字線上的存儲單元存在正常存儲單元,則說明控制該局部位線的主位線沒有失效。本發(fā)明提供的檢測方法和檢測系統(tǒng)通過對工作電流的測試實現(xiàn)對主位線失效的監(jiān)控,既可應(yīng)用于CP之前、之后,又可插入CP中,減少CP時間。
聲明:
“半導(dǎo)體器件主位線失效的檢測方法和檢測系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)