本發(fā)明提供了一種檢測(cè)半導(dǎo)體設(shè)備的靜電釋放針腳失效的方法及半導(dǎo)體設(shè)備。半導(dǎo)體設(shè)備包括晶圓載盤(pán)、靜電釋放引腳、探針和電阻檢測(cè)器。所述晶圓載盤(pán)用于承載晶圓。所述靜電釋放針腳設(shè)置在所述晶圓載盤(pán)邊緣,靜電釋放針腳構(gòu)造為在第一狀態(tài)和第二狀態(tài)間運(yùn)動(dòng),在所述第一狀態(tài)時(shí)觸碰所述晶圓,在所述第二狀態(tài)時(shí)離開(kāi)所述晶圓。所述探針設(shè)置在所述晶圓載盤(pán)邊緣,且適于接觸處于所述第二狀態(tài)的靜電釋放針腳。所述電阻檢測(cè)器,耦接所述探針和電位參考點(diǎn),以檢測(cè)所述靜電釋放針腳的電阻值。
聲明:
“檢測(cè)半導(dǎo)體設(shè)備的靜電釋放針腳失效的方法及半導(dǎo)體設(shè)備” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)