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功率器件的失效定位方法

840 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 08:59:36

本發(fā)明涉及功率器件的失效分析技術領域，是一種功率器件的失效定位方法。漏電流增大是功率器件失效的主要電學表現(xiàn)形式之一，會大幅度減小器件的使用壽命。本發(fā)明提供了一種功率器件的漏電流定位方法。方法包括：對失效功率器件樣本進行開封；將開封后的功率器件置于載物臺上；固定并調(diào)節(jié)紅外熱成像儀，使其顯示屏剛好容納芯片；對功率器件進行電壓偏置，找到熱點最清晰的偏置電壓；對功率器件施加恒定的上述偏置電壓，獲取該偏置電壓下的芯片表面熱像圖；將上述熱像圖與芯片物理結(jié)構(gòu)圖疊加處理，以準確定位異常漏電流。該方法實施便捷，能精確捕捉熱點以及定位失效位置。

聲明：

“功率器件的失效定位方法” 該技術專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)