本發(fā)明公開一種設(shè)計(jì)布局的失效風(fēng)險(xiǎn)的智能型預(yù)診斷系統(tǒng)及方法,本發(fā)明的方法是先取得一物體的一設(shè)計(jì)布局,再于設(shè)計(jì)布局上劃分出至少一布局區(qū)域,其中布局區(qū)域內(nèi)具有一布局圖案,接著取得多個(gè)缺陷,并按照尺寸的大小順序?qū)⒍鄠€(gè)缺陷逐個(gè)與布局圖案的一預(yù)定部分進(jìn)行比對(duì),然后根據(jù)比對(duì)結(jié)果判斷布局區(qū)域的失效風(fēng)險(xiǎn)等級(jí)。本發(fā)明能快速且準(zhǔn)確地預(yù)測(cè)在線隨機(jī)缺陷及系統(tǒng)缺陷等是否會(huì)在物體上造成錯(cuò)誤并影響到物體的良率。
聲明:
“設(shè)計(jì)布局的失效風(fēng)險(xiǎn)的智能型預(yù)診斷系統(tǒng)及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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