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避免氧化爐管二氯乙烯失效的方法和裝置

1094   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:59:39
一種避免氧化爐管二氯乙烯失效的方法和裝置,用于確保熱氧化生長(zhǎng)過(guò)程中二氯乙烯通過(guò)N2的攜帶方式正常通入所述氧化爐管內(nèi),對(duì)于每個(gè)含有二氯乙烯的工藝制程,采集其二氯乙烯重量減少的數(shù)據(jù),如所述二氯乙烯重量減少的數(shù)據(jù)在正常值范圍內(nèi),則說(shuō)明每次都有足夠量的二氯乙烯通進(jìn)所述氧化爐管內(nèi)。本發(fā)明通過(guò)直接監(jiān)測(cè)DCE的重量是否減少來(lái)確保DCE送入氧化爐管內(nèi),消除了傳統(tǒng)技術(shù)中通過(guò)監(jiān)測(cè)N2的流量而間接地監(jiān)測(cè)DCE是否送入氧化爐管所隱藏的不確定因素,保證了DCE能夠有效去除SiO2生長(zhǎng)過(guò)程的雜質(zhì)離子,確保了SiO2的薄膜質(zhì)量。
聲明:
“避免氧化爐管二氯乙烯失效的方法和裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
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