一種避免氧化爐管二氯乙烯失效的方法和裝置,用于確保熱氧化生長(zhǎng)過(guò)程中二氯乙烯通過(guò)N2的攜帶方式正常通入所述氧化爐管內(nèi),對(duì)于每個(gè)含有二氯乙烯的工藝制程,采集其二氯乙烯重量減少的數(shù)據(jù),如所述二氯乙烯重量減少的數(shù)據(jù)在正常值范圍內(nèi),則說(shuō)明每次都有足夠量的二氯乙烯通進(jìn)所述氧化爐管內(nèi)。本發(fā)明通過(guò)直接監(jiān)測(cè)DCE的重量是否減少來(lái)確保DCE送入氧化爐管內(nèi),消除了傳統(tǒng)技術(shù)中通過(guò)監(jiān)測(cè)N2的流量而間接地監(jiān)測(cè)DCE是否送入氧化爐管所隱藏的不確定因素,保證了DCE能夠有效去除SiO2生長(zhǎng)過(guò)程的雜質(zhì)離子,確保了SiO2的薄膜質(zhì)量。
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