本發(fā)明提供一種無塵車間內(nèi)空氣分析方法及系統(tǒng)，在所述無塵車間內(nèi)設(shè)置多個(gè)采樣點(diǎn)；在所述各采樣點(diǎn)處進(jìn)行外氣采樣、及空氣進(jìn)入所述過濾器的過濾出口之前和之后的采樣；對(duì)所采樣空氣樣本進(jìn)行元素分析；對(duì)所述元素分析獲得的數(shù)據(jù)進(jìn)行與標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)的比對(duì)及監(jiān)控，對(duì)監(jiān)控發(fā)現(xiàn)的異常數(shù)據(jù)并進(jìn)行管理改善和處理；本發(fā)明保證產(chǎn)線內(nèi)空氣中SO4情況被管理，以預(yù)防因其超管理線而導(dǎo)致的產(chǎn)品信賴性失效。