現(xiàn)有的半導(dǎo)體工藝中，由于馬達(dá)設(shè)置在密封腔內(nèi)，因而針對某些馬達(dá)被鎖定誤判為性能失效的情況，通常需打開密封腔以進(jìn)行檢測，上述打開密封腔需中斷制程，耗時且麻煩。針對上述問題，本發(fā)明提出一種馬達(dá)的檢測裝置及檢測馬達(dá)性能的方法，在現(xiàn)有的馬達(dá)驅(qū)動電路基礎(chǔ)上，再設(shè)置一套與馬達(dá)相連的檢測電路，以備馬達(dá)在某一位置臨時被鎖定而非馬達(dá)自身性能失效后，不打開密封腔，采用額外設(shè)置的檢測電路對馬達(dá)進(jìn)行驅(qū)動。