本發(fā)明提供了一種防止靜電吸合的微機械檢測結(jié)構(gòu),屬于微機電系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域,包括固定錨點及連接于固定錨點的固定梳齒、活動質(zhì)量塊以及連接于活動質(zhì)量塊的活動梳齒;活動梳齒與固定梳齒相互交叉,當敏感信號輸入時,活動質(zhì)量塊偏移平衡位置,活動梳齒與固定梳齒之間形成電容差。其中,固定梳齒或/和活動梳齒上設(shè)有梳齒防靜電吸合結(jié)構(gòu),以限制活動梳齒的偏移量,避免梳齒間靜電吸合失效。本發(fā)明提供的防止靜電吸合的微機械檢測結(jié)構(gòu),能夠有效的防止由于過載信號導(dǎo)致的靜電力吸合失效,具有結(jié)構(gòu)形式簡單,加工方便等優(yōu)點,可以顯著提高MEMS慣性傳感器的可靠性。
聲明:
“防止靜電吸合的微機械檢測結(jié)構(gòu)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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