本實用新型涉及一種MEMS器件檢測電路和設(shè)備,所述電路包括控制電路、MEMS驅(qū)動電路、第一采樣電路和MEMS器件;所述控制電路的輸出端與所述MEMS驅(qū)動電路的輸入端連接,所述MEMS驅(qū)動電路的輸出端與所述第一采樣電路的輸入端連接,所述第一采樣電路的第一輸出端與所述MEMS器件連接,所述第一采樣電路的第二輸出端與所述控制電路連接;所述第一采樣電路用于在預(yù)設(shè)時間段內(nèi)獲取采樣電壓,并將所述采樣電壓傳輸給所述控制電路;所述控制電路用于根據(jù)所述采樣電壓和所述控制電路輸出的驅(qū)動電壓,判斷MEMS器件是否失效。用此電路和方法檢測MEMS器件時,無需借助外部測試設(shè)備,檢測效率快;且此電路易于集成,成本較低,檢測精度高。
聲明:
“MEMS器件檢測電路和設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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