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薄膜封裝Test key的制作方法和檢測方法

1176 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 09:00:08

本發(fā)明公開了一種薄膜封裝Test key的制作方法和檢測方法，S1：在玻璃基板上制備TFT驅(qū)動器，在制備TFT驅(qū)動器時，玻璃基板邊緣中的襯底層與TFT驅(qū)動器中的SiNx層在同一層，即在制備TFT驅(qū)動器時，沉積在玻璃基板邊緣的SiNx層形成襯底層，再在TFT驅(qū)動器制備像素定義層，像素定義層經(jīng)過曝光顯影蝕刻脫膜形成圖案，然后再在像素定義層的開口處濺射一層陽極；S2：在步驟S1的基礎上制備OLED發(fā)光器件，然后再在OLED發(fā)光器件上制備陰極，其中陰極包含Mg陰極和Ag陰極；S3：在步驟S2的基礎之上沉積薄膜封裝層。本發(fā)明可以高效和快速地檢測出薄膜封裝的OLED顯示器是否失效，以及水氧侵蝕的程度，為后續(xù)維修和使用提供一個方向，并且在器件的開發(fā)方面具有重要意義。

聲明：

“薄膜封裝Test key的制作方法和檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)