本發(fā)明公開(kāi)了一種基于脈沖光探測(cè)磁共振的電磁場(chǎng)近場(chǎng)成像系統(tǒng)和方法，該系統(tǒng)由激光泵浦光路、微波源、金剛石NV色心探頭、CCD相機(jī)單元、同步系統(tǒng)、位移掃描平臺(tái)、控制軟件及數(shù)據(jù)分析成像系統(tǒng)所構(gòu)成。該系統(tǒng)采用含有NV色心的金剛石大塊單晶做探測(cè)單元，并采用靜磁場(chǎng)將金剛石NV色心的磁共振峰劈開(kāi)成8個(gè)峰，8個(gè)共振峰對(duì)應(yīng)于金剛石晶格結(jié)構(gòu)四個(gè)晶軸方向<111>,<1?11>,<?111>和<11?1>，通過(guò)測(cè)量每個(gè)共振峰的拉比頻率，獲得垂直于該晶軸方向的圓偏振微波場(chǎng)強(qiáng)度，通過(guò)對(duì)四個(gè)方向的微波場(chǎng)強(qiáng)度進(jìn)行綜合計(jì)算，再構(gòu)出微波矢量的強(qiáng)度和方向。通過(guò)對(duì)被測(cè)量微波芯片的局部區(qū)域微波近場(chǎng)高分辨成像，可以為芯片失效分析提供定量的數(shù)據(jù)。