本發(fā)明公開了一種具有傳動(dòng)輥在線監(jiān)測(cè)功能的真空設(shè)備，包括：真空腔體；安裝于真空腔體內(nèi)的傳動(dòng)輥單元，傳動(dòng)輥單元具有傳動(dòng)輥和延伸于真空腔體外的輸入端；傳動(dòng)連接傳動(dòng)輥單元輸入端的驅(qū)動(dòng)裝置；監(jiān)測(cè)裝置，監(jiān)測(cè)裝置具有安裝于真空腔體兩側(cè)的監(jiān)測(cè)單元，兩個(gè)監(jiān)測(cè)單元之間于真空腔體內(nèi)形成一檢測(cè)路徑；對(duì)應(yīng)監(jiān)測(cè)單元安裝于傳動(dòng)輥上的被監(jiān)測(cè)零件，被監(jiān)測(cè)零件在轉(zhuǎn)動(dòng)過程中可遮擋和避開監(jiān)測(cè)單元的檢測(cè)路徑。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)在線直接監(jiān)測(cè)傳動(dòng)鏈終端零件——傳動(dòng)輥的工作狀態(tài)，同時(shí)不降低傳動(dòng)輥的力學(xué)性能，及時(shí)給出具體傳動(dòng)輥單元失效的報(bào)警信號(hào)，確保設(shè)備及時(shí)采取應(yīng)對(duì)措施，避免故障造成更大損失。