本發(fā)明公開了一種智能真空器件在線檢測(cè)方法及其裝置，包括設(shè)于真空密封腔體上并且一端與真空密封腔體內(nèi)部連通的連接管，以及與連接管另一端連通的波紋管，波紋管遠(yuǎn)離連接管的另一端上固定一光感應(yīng)裝置，另設(shè)有光發(fā)射裝置和光接收裝置，光發(fā)射裝置發(fā)射光信號(hào)連續(xù)監(jiān)測(cè)該光感應(yīng)裝置的位置并將其傳輸給光接收裝置，光接收裝置將接收的光信號(hào)通過光纜傳輸給中央處理器。該智能真空器件在線監(jiān)測(cè)裝置持續(xù)監(jiān)控真空器件的真空度變化，在產(chǎn)品失效前及時(shí)發(fā)出警告，提醒工作人員采取措施，避免事故發(fā)生。不僅減免了對(duì)真空器件的脫機(jī)檢驗(yàn)，降低了運(yùn)營(yíng)和維護(hù)成本；而且增加了產(chǎn)品的可靠性，減少了對(duì)人員和資產(chǎn)傷害的風(fēng)險(xiǎn)；并可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控，利用智能化發(fā)展。