本實用新型公開了一種效能偵測裝置,包括速率偵測裝置和位移偵測裝置,速率偵測裝置包括速率傳感器和發(fā)光二極管,位移偵測裝置包括第一位移傳感器和第二位移傳感器;速率偵測裝置位于固定盤和拋光墊整修器的側(cè)面,并對準拋光墊整修器;位移偵測裝置位于固定盤的上方,并對準固定盤和拋光墊。本實用新型的優(yōu)點和有益效果在于:實現(xiàn)了及時發(fā)現(xiàn)拋光墊整修器及整修裝備的故障或失效,減少拋光墊整修器作虛功,提高生產(chǎn)效率的效果;以及起到了精確掌控拋光墊整修器運轉(zhuǎn)情況及效能,和提早偵錯并及時發(fā)現(xiàn)問題及了解效能衰退幅度,減少停機檢查維修的頻率,提高生產(chǎn)效率的作用。
聲明:
“效能偵測裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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