本發(fā)明提供了一種電遷移測試結(jié)構(gòu),在現(xiàn)有的電遷移測試結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上,于被測試導線上下表面間距預定距離的布線層形成兩條監(jiān)測線,用以監(jiān)控及測量由電遷移形成的突起物在高度方向上引起的短路失效。
聲明:
“電遷移測試結(jié)構(gòu)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)