本發(fā)明涉及材料的熱學性能測試技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種簡易新穎的薄膜熱學性能測試結(jié)構(gòu),包括設(shè)置于襯底上的串聯(lián)多個相同懸臂梁,所述懸臂梁由平面圖形相同的待測薄膜和測溫加熱電阻薄膜由下至上完全重疊設(shè)置而成。本發(fā)明有用信號大從而獲得較理想的信噪比,可有效降低對后續(xù)信號處理電路的要求;結(jié)構(gòu)可靠,避免了由于懸臂梁過長導致其與襯底接觸而失效的風險,可以極大減小工藝難度、提高制作成功率;制備工藝簡單,一次成型;結(jié)果精確,熱學參數(shù)表達式簡單,測試手段相對簡單。
聲明:
“簡易新穎的薄膜熱學性能測試結(jié)構(gòu)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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