本實(shí)用新型公開了一種半導(dǎo)體設(shè)備機(jī)臺(tái)氣缸的升降偵測系統(tǒng)，半導(dǎo)體設(shè)備機(jī)臺(tái)內(nèi)設(shè)有氣缸，氣缸包括缸體和活塞桿，系統(tǒng)包括：感應(yīng)單元，包括感應(yīng)片、感應(yīng)器、安裝支架和位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，感應(yīng)片固定在活塞桿的頂部側(cè)壁上，感應(yīng)器安裝在安裝支架上，安裝支架經(jīng)位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與缸體的頂部端面相連接；報(bào)警單元，安裝在半導(dǎo)體設(shè)備機(jī)臺(tái)上；控制器，分別與氣缸和感應(yīng)器相連接，控制器還經(jīng)常閉繼電器與報(bào)警單元相連接。本實(shí)用新型能準(zhǔn)確高效地偵測氣缸的實(shí)際動(dòng)作的作用；并且，避免了感應(yīng)器存在故障或一直保持同一狀態(tài)導(dǎo)致的失效風(fēng)險(xiǎn)；同時(shí)，當(dāng)偵測系統(tǒng)斷電或者程序故障，常閉繼電器會(huì)斷開，使報(bào)警單元立刻發(fā)出警報(bào)，從而有效地提高了保護(hù)效果。