本發(fā)明公開(kāi)一種設(shè)計(jì)布局為主的快速在線缺陷診斷、分類及取樣方法及系統(tǒng),本發(fā)明的方法是先取得物體的設(shè)計(jì)布局圖與物體于一重要制程階段的缺陷數(shù)據(jù),再?gòu)氖эL(fēng)險(xiǎn)預(yù)診斷分析數(shù)據(jù)庫(kù)中取得與設(shè)計(jì)布局圖相關(guān)的一預(yù)診斷數(shù)據(jù)群體,然后根據(jù)預(yù)診斷數(shù)據(jù)群體判斷缺陷數(shù)據(jù)的致命缺限指數(shù)暨失效風(fēng)險(xiǎn)等級(jí)。借此,本發(fā)明能提高缺陷檢測(cè)的效率與準(zhǔn)確度。
聲明:
“設(shè)計(jì)布局為主的快速在線缺陷診斷、分類及取樣方法及系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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