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氣敏元件強制換氣冷熱泵微加工制造方法

731 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 09:00:41

本發(fā)明提供的是一種氣敏元件強制換氣冷熱泵微加工制造方法,它涉及到氣敏元件的制造方法。本發(fā)明解決了敏感元件周圍易產(chǎn)生耗盡區(qū)域的問題,提高了氣敏元件的線性度和使用性能,延長了氣敏元件的標校期。本發(fā)明的制造方法由以下工步組成:沉積鋁膜-復制冷熱泵圖形-三氧化二鋁(Al2O3)膜片制作-熱處理-金屬化-粘接固定。用本發(fā)明方法制造出的氣敏元件可以迫使元件的內(nèi)部檢測后的廢氣體與外界需檢測的新氣體強制換氣,在氣敏元件的氣室內(nèi)形成氣體交換環(huán)流,保障了氣敏元件檢測的真實性和可靠性;同時,降低了敏感元件的結碳失效率,有助于檢測監(jiān)控裝備的選擇和應用。

聲明：

“氣敏元件強制換氣冷熱泵微加工制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)