本實(shí)用新型公開(kāi)了電容式微機(jī)械加速度計(jì),屬于微機(jī)械傳感器的技術(shù)領(lǐng)域。加速度計(jì)包括:硅片基座,形成在硅片基座上的絕緣層,沉積在絕緣層上的檢測(cè)電容層,以及
多晶硅活動(dòng)結(jié)構(gòu)屏蔽層,多晶硅活動(dòng)結(jié)構(gòu)層通過(guò)檢測(cè)電容層的支撐懸空,多晶硅活動(dòng)結(jié)構(gòu)屏蔽層中的質(zhì)量塊在加速度作用下帶動(dòng)支撐梁發(fā)生位移,檢測(cè)電容極板之間的電場(chǎng)線(xiàn)會(huì)發(fā)生變化,由電場(chǎng)線(xiàn)變化得到的電容變化值即為測(cè)量的加速度信息。利用邊緣電場(chǎng)效應(yīng)設(shè)計(jì)的電容式微機(jī)械加速度計(jì),在大量程下具有大靈敏度,在激勵(lì)電容和外加激勵(lì)電壓作用下,檢測(cè)電容使其具有自檢功能且不會(huì)發(fā)生吸附失效。?
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“電容式微機(jī)械加速度計(jì)” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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