本發(fā)明涉及一種虛擬圖案填充程式的質(zhì)量合格保證方法以及版圖結(jié)構(gòu),所述方法包括以下步驟:步驟(a)虛擬圖案設(shè)計與電路版圖主設(shè)計規(guī)則的一致性檢查;步驟(b)虛擬圖案插入之后虛擬圖案檢查規(guī)則和圖形密度檢查規(guī)則的違反性檢查;步驟(c)虛擬圖案和參考圖層之間的相關(guān)性檢查。本發(fā)明中提供了一種新的并且是全面的虛擬圖案填充的質(zhì)量保證流程,以避免現(xiàn)有技術(shù)質(zhì)量監(jiān)測過程中存在的各種缺陷,本發(fā)明所述方法的優(yōu)點(diǎn)在于可以消除由于虛擬圖案的插入帶來的各種潛在的風(fēng)險:(1)可以避免虛擬圖案違反設(shè)計規(guī)則以及由此帶來的工藝過程中的各種問題;(2)所述方法可以避免由于虛擬圖案和參考圖層之間接觸,造成所述器件性能失效,損壞。
聲明:
“虛擬圖案填充程式的質(zhì)量合格保證方法以及版圖結(jié)構(gòu)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)