一種比較半導(dǎo)體器件的靜電放電性能的方法,包括:收集各組半導(dǎo)體器件所有測試管腳在靜電放電測試中的失效電壓;對各組半導(dǎo)體器件的失效電壓數(shù)據(jù)進行概率分布統(tǒng)計;基于概率分布,獲得各組半導(dǎo)體器件的外推最低電壓;若半導(dǎo)體器件的外推最低電壓與所述失效電壓數(shù)據(jù)中的最低值的差值小于第一臨界范圍,則以所述最低值作為待比較值;否則,以所述外推最低電壓作為待比較值;比較各組半導(dǎo)體器件;具有較大待比較值,且與另一待比較值間的差值大于或等于第二臨界范圍的一組半導(dǎo)體器件的靜電放電性能較好。否則,兩組半導(dǎo)體器件的靜電放電性能相近。所述比較半導(dǎo)體器件的靜電放電性能的方法,其準(zhǔn)確性較高。
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