本發(fā)明涉及表面工程技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于金屬或合金表面的復(fù)合薄膜、其制備方法及應(yīng)用。所述復(fù)合薄膜包括：復(fù)合在金屬或合金表面的感應(yīng)層A；所述感應(yīng)層包括TiAlN?Hf薄膜；復(fù)合在所述感應(yīng)層A上的感應(yīng)層B；所述感應(yīng)層B包括TiAlN?Ag薄膜；復(fù)合在所述感應(yīng)層B上的表面層。將上文所述的復(fù)合薄膜沉積在油潤滑工況下服役的精密摩擦件上，此時(shí)的基體即為精密摩擦件，在設(shè)備運(yùn)行過程中發(fā)生磨損，通過監(jiān)測潤滑油液中金屬磨粒的成分和含量變化，可實(shí)現(xiàn)對磨損失效狀態(tài)的有效監(jiān)測。因而，所述復(fù)合薄膜可以用作金屬摩擦件磨損狀態(tài)監(jiān)測材料，以克服現(xiàn)有技術(shù)無法實(shí)現(xiàn)復(fù)雜機(jī)械設(shè)備內(nèi)部精密摩擦件磨損失效預(yù)警的精確定位的問題。