本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N
芯片的版圖中插入冗余通孔的方法,所述方法包括:提供待加工芯片的計(jì)算機(jī)模擬版圖,版圖具有多個(gè)通孔;在版圖中的多個(gè)通孔周圍插入多個(gè)冗余通孔;對(duì)插入多個(gè)所述冗余通孔后的版圖進(jìn)行檢查,區(qū)分為合格冗余通孔和缺陷冗余通孔;對(duì)缺陷冗余通孔中的至少一部分缺陷冗余通孔進(jìn)行修正;以及基于修正后的版圖形成芯片的最終模擬版圖。根據(jù)本申請(qǐng)實(shí)施方式的芯片的版圖中插入冗余通孔的方法,通過對(duì)插入的部分缺陷冗余通孔進(jìn)行修正,可在芯片版圖上在不違反涉及規(guī)則和電連接的情況下,提高插入的冗余通孔的數(shù)量,進(jìn)一步降低了通孔失效對(duì)芯片良率的影響。
聲明:
“插入冗余通孔的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)