本發(fā)明公開(kāi)了一種在蝕刻劑再生系統(tǒng)中用來(lái)監(jiān)測(cè)各種蝕刻劑顏色濃度的高精度傳感器。該傳感器包括一個(gè)由派熱克斯玻璃(Pyrex)或類似材料制成的管狀感應(yīng)室(1)和一個(gè)圍繞該感應(yīng)室(1)的一部分的光電管殼體。感應(yīng)室(1)包括一個(gè)延伸進(jìn)感應(yīng)室(1)內(nèi)部的桿狀延伸體。光電管殼體提供光源(5),最好是發(fā)光二極管(LED)或激光,和一個(gè)光電探測(cè)器(7),兩者通過(guò)光電管殼體內(nèi)的孔光耦合。在附屬于蝕刻機(jī)器的再生設(shè)備中使用兩個(gè)這樣的傳感器,以便蝕刻銅、鐵、不銹鋼或其它材料。在另一實(shí)施例中,利用多個(gè)傳感器來(lái)探測(cè)蝕刻劑的多個(gè)成份,這些成份依賴于所蝕刻的材料和所用蝕刻劑。利用兩套傳感器的系統(tǒng)特別適用于這樣的蝕刻劑:當(dāng)充分再生時(shí)它能很好地透射通過(guò)一種顏色的光;而當(dāng)完全失效時(shí),它能很好地透射通過(guò)另一種顏色的光。