本發(fā)明提供一種新型氮氧傳感器陶瓷
芯片,涉及傳感器技術(shù)領(lǐng)域。該氮氧傳感器陶瓷芯片包括從上至下依次層疊的第一至第六氧化鋯陶瓷層,在第二氧化鋯陶瓷層內(nèi)設(shè)置有主泵腔室、輔泵腔室和測量泵腔室,主泵腔室與氮氧傳感器陶瓷芯片外部之間通過第一擴(kuò)散通道連通,主泵腔室與輔泵腔室通過第二擴(kuò)散通道連通,輔泵腔室與測量泵腔室之間通過第三擴(kuò)散通道連通,第一擴(kuò)散通道、第二擴(kuò)散通道以及第三擴(kuò)散通道均為孔式進(jìn)氣擴(kuò)散通道結(jié)構(gòu)。通過采用孔式進(jìn)氣擴(kuò)散通道結(jié)構(gòu),有效防止克努森擴(kuò)散、積碳堵塞以及進(jìn)氣通道微開裂引起的傳感器失效問題,降低了氮氧傳感器陶瓷芯片劣化的風(fēng)險(xiǎn),大大提升了氮氧傳感器陶瓷芯片生產(chǎn)廠家產(chǎn)品合格率。
聲明:
“新型氮氧傳感器陶瓷芯片” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)