本發(fā)明公開(kāi)了一種基于業(yè)互聯(lián)網(wǎng)平臺(tái)的半導(dǎo)體制造設(shè)備維修方法,包括:對(duì)小樣本失效數(shù)據(jù)進(jìn)行處理,所述處理包括數(shù)據(jù)清洗與特征提取,數(shù)據(jù)集成與變換;建立基于確定分布、大樣本、多源信息的可靠性評(píng)估模型,根據(jù)可靠性評(píng)估模型進(jìn)行數(shù)據(jù)可靠性評(píng)估;基于時(shí)效性和有效性下數(shù)據(jù)的健康狀態(tài)評(píng)估,根據(jù)評(píng)估結(jié)果進(jìn)行預(yù)防性維修決策;基于深度學(xué)習(xí)進(jìn)行數(shù)據(jù)的特征提取、基于深度置信網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行特征診斷、基于診斷結(jié)果進(jìn)行預(yù)測(cè)性狀態(tài)維修決策;本發(fā)明能夠提高維修效率,節(jié)約維修資源。
聲明:
“基于業(yè)互聯(lián)網(wǎng)平臺(tái)的半導(dǎo)體制造設(shè)備維修方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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