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本發(fā)明屬半導(dǎo)體銅互連化學(xué)機(jī)械拋光工藝領(lǐng)域,具體涉及一種粗糙打磨墊化學(xué)機(jī)械拋光工藝模型的建立方法。該方法采用概率密度函數(shù)來(lái)表征打磨墊表面的高度特性,用自相關(guān)函數(shù)來(lái)表征打磨墊表面的橫向特性,并采用譜展開(kāi)方法和非線(xiàn)性變換方法生成符合給定概率密度特性的打磨墊粗糙表面。本發(fā)明方法不需要對(duì)打磨墊表面做任何的幾何簡(jiǎn)化和近似,可以嚴(yán)格地表征打磨墊表面任意隨機(jī)分布的幾何特性,本方法利用接觸力學(xué)方程精確求解打磨墊粗糙表面和芯片表面的接觸問(wèn)題,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)整個(gè)化學(xué)機(jī)械拋光工藝的建模,可用于檢測(cè)化學(xué)機(jī)械拋光工藝的結(jié)果。
本發(fā)明提供一種單粒子電化學(xué)模型計(jì)算裝置及方法,所述裝置包括:多個(gè)電化學(xué)計(jì)算模塊,用于根據(jù)儲(chǔ)能系統(tǒng)內(nèi)電池?cái)?shù)據(jù)計(jì)算儲(chǔ)能系統(tǒng)內(nèi)電池內(nèi)部性能,并輸出計(jì)算結(jié)果;通信模塊,與多個(gè)電化學(xué)計(jì)算模塊相連,用于向各所述電化學(xué)計(jì)算模塊傳入所述儲(chǔ)能系統(tǒng)內(nèi)電池?cái)?shù)據(jù)并將各所述電化學(xué)計(jì)算模塊輸出的計(jì)算結(jié)果傳出;數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)發(fā)模塊,分別與所述通信模塊、儲(chǔ)能系統(tǒng)以及云端服務(wù)器相連,用于從所述儲(chǔ)能系統(tǒng)獲取電池?cái)?shù)據(jù),將所述電池?cái)?shù)據(jù)轉(zhuǎn)發(fā)給所述通信模塊,并將所述通信模塊傳出的計(jì)算結(jié)果轉(zhuǎn)發(fā)至所述云端服務(wù)器。本發(fā)明在本地儲(chǔ)能電站系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)對(duì)電池內(nèi)部電化學(xué)狀態(tài)量的計(jì)算,減少電池分析計(jì)算時(shí)間,實(shí)現(xiàn)對(duì)電池內(nèi)部老化精準(zhǔn)的分析。
本發(fā)明涉及血液病毒滅活效果質(zhì)量評(píng)價(jià)領(lǐng)域。本發(fā)明解決了現(xiàn)有技術(shù)中MB-P滅活效果質(zhì)量評(píng)價(jià)方法價(jià)格貴,周期長(zhǎng),不適合在常規(guī)工作中開(kāi)展的問(wèn)題,公開(kāi)了一種新的亞甲藍(lán)光化學(xué)病毒滅活效果質(zhì)量評(píng)價(jià)檢測(cè)方法,包括以下步驟:在對(duì)血液或血液制品進(jìn)行滅活的同時(shí),對(duì)質(zhì)控品進(jìn)行相同條件的滅活,質(zhì)控品含HCV病毒基因的重組質(zhì)粒或含HCV病毒基因體外轉(zhuǎn)錄的RNA片段,通過(guò)特異性引物,利用PCR技術(shù)擴(kuò)增質(zhì)控品中HCV病毒基因的特定區(qū)域,通過(guò)對(duì)PCR結(jié)果的監(jiān)測(cè),從分子水平對(duì)亞甲藍(lán)光化學(xué)病毒滅活效果進(jìn)行質(zhì)量評(píng)價(jià)。同時(shí)還公開(kāi)了其質(zhì)控品。本發(fā)明操作簡(jiǎn)單,準(zhǔn)確度好,實(shí)驗(yàn)周期短,需要的實(shí)驗(yàn)條件容易達(dá)到,更為經(jīng)濟(jì)有效。
本發(fā)明涉及一種石墨烯量子點(diǎn)修飾的電化學(xué)傳感器及其制備方法和應(yīng)用,該傳感器采用三電極體系,以石墨烯量子點(diǎn)修飾后的金電極為工作電極。本發(fā)明采用化學(xué)鍵將石墨烯量子點(diǎn)的羧基與改性后的金電極表面的氨基結(jié)合,構(gòu)筑石墨烯量子點(diǎn)電化學(xué)傳感器。以石墨烯量子點(diǎn)修飾后的金電極為工作電極,使用計(jì)時(shí)電流法測(cè)定H2O2濃度的工作曲線(xiàn)。本發(fā)明測(cè)定H2O2濃度的線(xiàn)性范圍為2μM~8mM,檢測(cè)下限為1.3μM。同時(shí),該傳感器能夠?qū)崟r(shí)的檢測(cè)活細(xì)胞釋放的H2O2含量,且響應(yīng)快,線(xiàn)性范圍寬、檢測(cè)極限低等優(yōu)點(diǎn),對(duì)于因ROS引起的疾病的診斷檢測(cè)具有重要意義,應(yīng)用前景廣泛。
本發(fā)明涉及一種電化學(xué)合成重構(gòu)MAX相制備微納米多孔多層碳基材料方法,首次將熔鹽電化學(xué)還原與電化學(xué)輔助刻蝕技術(shù)相整合,實(shí)現(xiàn)直接制備納米多孔多層碳基材料。以金屬氧化物MxOy、AxOy和碳粉為初始原料,首先將混合均勻的金屬氧化物MxOy、AxOy和碳粉混合物壓制成多孔陰電極。以氧化釔穩(wěn)定氧化鋯透氧膜組裝電極為陽(yáng)極,以分析純無(wú)水CaCl2為熔鹽電解質(zhì),剛玉坩堝為電解池。首先通過(guò)電化學(xué)熔鹽電解還原金屬氧化物MxOy、AxOy和碳粉混合物合成微納米三元碳化物MAX相。然后再以得到的三元碳化物MAX相作為陽(yáng)極,石墨碳棒為陰極,采用電化學(xué)刻蝕方法,選擇性直接制備得到多孔納米金屬碳化物或?qū)訝罱Y(jié)構(gòu)多孔碳材料。該方法可以由廉價(jià)金屬氧化物和碳粉直接制備納米多孔多層碳基材料,成本低、工藝簡(jiǎn)單、易于控制其產(chǎn)物形貌及有序性。可望提供一條全新納米多孔多層碳基材料合成新方法。
本發(fā)明公開(kāi)了一種電化學(xué)傳感器用硫化銀石墨烯復(fù)合材料及其制備方法。本發(fā)明采用有機(jī)相合成了不同尺徑的硫化銀納米材料,并選擇電化學(xué)響應(yīng)最好的,粒徑最小的Ag2S納米顆粒為基礎(chǔ),通過(guò)一步法合成了Ag2S和還原型石墨烯(RGO)的復(fù)合材料,進(jìn)一步提高靈敏度。并成功進(jìn)行玻碳電極修飾后,用于實(shí)現(xiàn)對(duì)微量加替沙星的電化學(xué)檢測(cè)。同時(shí),通過(guò)X射線(xiàn)衍射(XRD)、透射電子顯微鏡(TEM)、掃描電子顯微鏡?X射線(xiàn)能譜(SEM?EDS)以及各種電化學(xué)方法對(duì)材料的結(jié)構(gòu)、形貌、電化學(xué)行為等進(jìn)行了表征和研究。采用電化學(xué)檢測(cè)法具有低成本、響應(yīng)快、設(shè)備簡(jiǎn)單、靈敏度高、可靠性好等優(yōu)點(diǎn),便于實(shí)現(xiàn)對(duì)微量、痕跡量藥物的快速檢測(cè)。
本發(fā)明涉及一種基于AgNFs?Pt納米復(fù)合材料的無(wú)酶電化學(xué)過(guò)氧化氫傳感器及制備。將AgNO3溶液與牛血清白蛋白溶液混合,攪拌后加入抗壞血酸溶液,反應(yīng)得到AgNFs溶液,離心洗滌,再在洗凈后的材料中加入H2PtCl6溶液,反應(yīng)后將溶液離心洗滌得到AgNFs?Pt溶液,將AgNFs?Pt溶液滴在電化學(xué)傳感器工作電極表面,制成基于AgNFs?Pt納米復(fù)合材料的無(wú)酶電化學(xué)過(guò)氧化氫傳感器。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明無(wú)酶電化學(xué)過(guò)氧化氫傳感器的構(gòu)建方法簡(jiǎn)單安全快捷,且具有很高的靈敏度,寬闊的線(xiàn)性檢測(cè)范圍和低檢測(cè)極限,能夠在極低雙氧水濃度下檢測(cè)到信號(hào)。同時(shí),組裝所需的納米材料合成方法綠色環(huán)保,簡(jiǎn)單易操作,催化效果良好,可作為一種新型無(wú)酶納米催化材料。
本發(fā)明提供一種化學(xué)機(jī)械拋光工藝中確定研磨時(shí)間的方法,該方法中所述研磨時(shí)間由自動(dòng)處理系統(tǒng)反饋給用于化學(xué)機(jī)械拋光的設(shè)備;所述自動(dòng)處理系統(tǒng)通過(guò)上述拋光設(shè)備最近若干批硅片的研磨參數(shù)來(lái)確定下一批硅片的研磨時(shí)間;所述研磨參數(shù)包括最近M批硅片各自的研磨時(shí)間、最近一次檢測(cè)到的研磨速率RT、及最近M批硅片的平均研磨速率RM;通過(guò)RT與RM的比值來(lái)修正研磨時(shí)間。本發(fā)明揭示的在化學(xué)機(jī)械拋光工藝中確定研磨時(shí)間的方法,考慮到了每天CMP機(jī)臺(tái)研磨速率的變化和差異,用修正系數(shù)RT/RM來(lái)修正研磨時(shí)間,這種方法確定的時(shí)間將更精確。
本發(fā)明屬于生物醫(yī)學(xué)檢測(cè)領(lǐng)域,具體涉及一種Ficolin-3電化學(xué)免疫傳感器及其制備與應(yīng)用。本發(fā)明所述電化學(xué)免疫傳感器,包括工作電極,所示工作電極包括基底電極和捕獲分子,所述基底電極選用玻碳電極,所述捕獲分子選用Ficolin-3單克隆抗體。與傳統(tǒng)的Ficolin-3檢測(cè)手段相比,本發(fā)明的電化學(xué)免疫傳感器具有如下優(yōu)點(diǎn):(1)靈敏度高,檢測(cè)限低至100?ng/mL;(2)檢測(cè)時(shí)間縮短三分之一,準(zhǔn)確性強(qiáng);(3)本發(fā)明所構(gòu)建的電化學(xué)免疫傳感器不需要對(duì)工作電極中的基底電極做修飾,制作及操作更簡(jiǎn)單,成本低,應(yīng)用前景廣闊。
本發(fā)明提供了一種動(dòng)力鋰離子電池電化學(xué)參數(shù)辨識(shí)方法及系統(tǒng),包括:步驟M1:建立傳遞函數(shù)形式的電池的電化學(xué)模型;步驟M2:進(jìn)行鋰離子電池實(shí)驗(yàn),采集鋰離子電池在不同工況下的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù);步驟M3:將采集到的電池在不同工況下的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)作為電化學(xué)模型的輸入,對(duì)電池的電化學(xué)參數(shù)進(jìn)行參數(shù)敏感性分析;步驟M4:根據(jù)電池的電化學(xué)參數(shù)敏感性分析,完成鋰離子電池在不同工況下所有電化學(xué)參數(shù)的辨識(shí);所述電化學(xué)模型是電池的機(jī)理模型,是對(duì)電池內(nèi)部電化學(xué)參數(shù)辨識(shí)的基礎(chǔ)。本發(fā)明通過(guò)預(yù)先在實(shí)驗(yàn)室對(duì)電池不同溫度,不同工況下的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行采集,然后基于電池偽二維傳遞函數(shù)模型進(jìn)行參數(shù)辨識(shí),可方便快捷得到電池電化學(xué)參數(shù)。
本發(fā)明涉及一種自供能式光電化學(xué)傳感器及其制備方法與應(yīng)用。以FTO導(dǎo)電玻璃為基體,制備了WO3與TiO2異質(zhì)結(jié)作光電陽(yáng)極,電沉積金納米粒子修飾的層狀碳插層超薄二硫化鉬微球作光電陰極,并構(gòu)建了基于水/氧自循環(huán)的自供能式光電化學(xué)傳感體系。該體系無(wú)需外加推動(dòng)力及電子供受體,基于水/氧循環(huán)既實(shí)現(xiàn)了自供能又降低了體系背景干擾。通過(guò)電化學(xué)技術(shù)引發(fā)鄰苯二胺的聚合反應(yīng)在光電陰極合成了特異性識(shí)別磷酸氯喹的分子印跡膜。以模擬太陽(yáng)光作為激發(fā)光源,在CHI?660e工作站上采用i?t技術(shù)進(jìn)行磷酸氯喹濃度的檢測(cè)。本發(fā)明傳感器光電化學(xué)響應(yīng)靈敏,檢測(cè)范圍寬,抗干擾能力強(qiáng);而且制備方法簡(jiǎn)單快速、成本低,可適用于臨床血清和水體的快速在線(xiàn)檢測(cè)。
本發(fā)明涉及一種土壤化學(xué)氧化修復(fù)技術(shù)中氧化劑選擇方法,包含:(1)確定污染物及污染場(chǎng)地、(2)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系的構(gòu)建、(3)指標(biāo)權(quán)重的確定、(4)指標(biāo)的標(biāo)準(zhǔn)化及分級(jí)、(5)氧化劑選擇指數(shù)的確定、(6)氧化劑選擇結(jié)果分析。通過(guò)理論分析法和層次分析法制定各準(zhǔn)側(cè)層及其所含評(píng)價(jià)指標(biāo)的權(quán)重,進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)分級(jí)和賦分確定各指標(biāo)分值,運(yùn)用多目標(biāo)加權(quán)法得出目標(biāo)層的綜合評(píng)價(jià)指數(shù),并對(duì)綜合評(píng)價(jià)指數(shù)的分析,判定修復(fù)效果評(píng)估等級(jí)。本發(fā)明具有科學(xué)、直觀、可操作性強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn),在一定程度上彌補(bǔ)了我國(guó)土壤化學(xué)氧化修復(fù)技術(shù)中氧化劑選擇體系構(gòu)建方面的不足之處,可對(duì)當(dāng)前的土壤化學(xué)氧化修復(fù)技術(shù)中氧化劑選擇方法提供參考和借鑒。
本發(fā)明提供一種高靈敏度化學(xué)發(fā)光免疫診斷試劑,包括:包被有第一抗原/第一抗體的磁珠、生物素標(biāo)記的第二抗原/第二抗體、以及鏈霉親和素標(biāo)記的化學(xué)發(fā)光試劑,第一和第二抗原用于特異性結(jié)合待檢測(cè)樣本中的待檢測(cè)抗體,第一和第二抗體用于特異性結(jié)合待檢測(cè)樣本中的待檢測(cè)抗原。較佳地,第一和第二抗體均為HIV anti?protein24或抗?HBsAg抗體。第一和第二抗原均為HIV?I型融合抗原和HIV?II型抗原、或者HCV融合抗原?;瘜W(xué)發(fā)光試劑是吖啶酯或吖啶磺酰胺。還提供了一種消除兩步法免疫試劑HOOK效應(yīng)的方法。本發(fā)明的高靈敏度化學(xué)發(fā)光免疫診斷試劑能夠大幅度提高免疫診斷試劑靈敏度,提高檢測(cè)準(zhǔn)確性。
本發(fā)明涉及一種石墨烯量子點(diǎn)修飾的電化學(xué)生物傳感器及其制備方法。該電化學(xué)生物傳感器為三電極體系傳感器,所述的三電極中的對(duì)電極是鉑電極,參比電極是飽和甘汞電極,工作電極為表面包覆有1~4層石墨烯量子點(diǎn)的玻碳電極。本發(fā)明的石墨烯量子點(diǎn)修飾的電化學(xué)生物傳感器能成功識(shí)別最低濃度為50nM的目標(biāo)單鏈DNA的電化學(xué)生物傳感器,當(dāng)有目標(biāo)單鏈DNA時(shí),取等量互補(bǔ)單鏈DNA與其形成雙鏈DNA,其電化學(xué)信號(hào)與僅有互補(bǔ)單鏈DNA有明顯差別,便能起到快速檢測(cè)目標(biāo)單鏈DNA的作用。而且該段單鏈DNA不需巰基或熒光基團(tuán)修飾,應(yīng)用方便。本發(fā)明所檢測(cè)的單鏈DNA是一段任意序列的核酸,理論上,該發(fā)明適用于不能形成內(nèi)部雙鏈的任意單鏈核酸序列,因此,將其置換成跟疾病相關(guān)的特異序列基因,即可用于疾病相關(guān)的基因檢測(cè),應(yīng)用前景廣泛。
本發(fā)明涉及一種化學(xué)機(jī)械研磨裝置,涉及半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)過(guò)程,包括一光學(xué)影像檢測(cè)儀及一研磨裝置控制裝置,所述光學(xué)影像檢測(cè)儀用于獲取化學(xué)機(jī)械研磨裝置內(nèi)的修整盤(pán)于修整化學(xué)機(jī)械研磨裝置內(nèi)的研磨墊前的影像及于修整所述研磨墊后的影像,所述研磨裝置控制裝置連接所述光學(xué)影像檢測(cè)儀,接收所述光學(xué)影像檢測(cè)儀獲取的所述修整盤(pán)于修整所述研磨墊前的影像及所述于修整所述研磨墊后的影像,并基于所述修整盤(pán)于修整研磨墊前的影像及所述于修整研磨墊后的影像輸出一控制信號(hào),所述控制信號(hào)控制所述化學(xué)機(jī)械研磨裝置的工作,以提高半導(dǎo)體器件的良率。
本發(fā)明公開(kāi)了一種化學(xué)機(jī)械拋光中延長(zhǎng)研磨墊壽命的方法,包括以下步驟:第一步,測(cè)量不同使用時(shí)期研磨墊的研磨墊溝槽深度和研磨墊厚度,從而確定研磨墊的不同區(qū)域的切削速度;第二步,設(shè)定修正盤(pán)在研磨墊不同區(qū)域的停留時(shí)間;第三步,檢測(cè)研磨墊不同區(qū)域的研磨粒和化學(xué)機(jī)械拋光的研磨速率;第四步,測(cè)量使用到壽命的研磨墊的研磨墊溝槽深度和研磨墊厚度;第五步,針對(duì)上面幾步的檢測(cè)結(jié)果設(shè)定修正盤(pán)在研磨墊不同區(qū)域的壓力;第六步,重復(fù)第三步到第五步,直到找到適合的壓力參數(shù),使研磨墊各個(gè)區(qū)域的面內(nèi)損耗和溝槽深度趨于一致。本發(fā)明通過(guò)對(duì)研磨墊各個(gè)區(qū)域壓力的設(shè)置,使研磨墊的切削更均勻,可以延長(zhǎng)研磨墊的使用壽命,降低生產(chǎn)成本。
本發(fā)明公開(kāi)了一種半導(dǎo)體制備用化學(xué)藥液自動(dòng)供給混合系統(tǒng)及方法,包括藥液桶、供給混料機(jī)構(gòu)、換液升降機(jī)構(gòu)、流量檢測(cè)組件和傾斜施力機(jī)構(gòu),傾斜施力機(jī)構(gòu)設(shè)置在換液升降機(jī)構(gòu)的側(cè)邊,用于推動(dòng)藥液桶繞其底面的棱邊朝向供給混料機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn),以使得供給混料機(jī)構(gòu)及時(shí)泵取到藥液桶底部的化學(xué)藥液;控制系統(tǒng),分別與供給混料機(jī)構(gòu)、換液升降機(jī)構(gòu)、流量檢測(cè)組件和傾斜施力機(jī)構(gòu)連接,控制系統(tǒng)根據(jù)流量檢測(cè)組件的實(shí)時(shí)測(cè)量結(jié)果調(diào)控供給混料機(jī)構(gòu)的泵取工作,且控制系統(tǒng)根據(jù)流量檢測(cè)組件實(shí)時(shí)測(cè)量結(jié)果計(jì)算藥液桶的剩余液量,控制系統(tǒng)基于計(jì)算的剩余液量依次調(diào)控傾斜施力機(jī)構(gòu)和換液升降機(jī)構(gòu)工作。本發(fā)明避免將藥液傾斜聚集,保證化學(xué)藥液的配比比例精度。
本發(fā)明公開(kāi)了一種化學(xué)機(jī)械拋光液的制備工藝:將化學(xué)機(jī)械拋光液的各成分按其工作機(jī)理、功能、化學(xué)或物理性質(zhì)分組,平行的將每組的成分分別進(jìn)行混合,得到各中間預(yù)混物,對(duì)中間預(yù)混物進(jìn)行質(zhì)量控制測(cè)試,全部中間預(yù)混物檢測(cè)合格后,進(jìn)行混合,制得化學(xué)機(jī)械拋光液。本發(fā)明的制備工藝縮短了大規(guī)模生產(chǎn)的工藝流程時(shí)間,極大地提高了產(chǎn)能,降低了生產(chǎn)成本,并且增加了工藝流程質(zhì)量控制點(diǎn),提高了質(zhì)量控制水平,使產(chǎn)品質(zhì)量保障得到極大提升,降低了生產(chǎn)質(zhì)量事故風(fēng)險(xiǎn),因而具有明顯的經(jīng)濟(jì)價(jià)值。
本發(fā)明公開(kāi)了一種基于化學(xué)成分的打葉復(fù)烤產(chǎn)品均勻性系統(tǒng)調(diào)控的方法及其應(yīng)用,屬于煙葉打葉復(fù)烤加工工藝。該方法依次包括原料入庫(kù)檢測(cè)工序,煙葉配方挑選投料一次配比工序和打葉復(fù)烤投料二次配比加工工序。主要核心是通過(guò)原料入庫(kù)檢測(cè)、煙葉配方挑選、在線(xiàn)檢測(cè)等過(guò)程將不同化學(xué)值的煙葉原料加以區(qū)分,再以煙葉的特定化學(xué)成分的目標(biāo)值進(jìn)行配比調(diào)控,最終提高成品片煙的內(nèi)在質(zhì)量均勻性。本發(fā)明方法從目前打葉復(fù)烤工藝流程的前端進(jìn)行內(nèi)在化學(xué)成分的調(diào)節(jié),解決了以往煙葉打葉復(fù)烤加工中化學(xué)成分難以有效控制的問(wèn)題,比起現(xiàn)有工藝流程具有調(diào)控主動(dòng),方法簡(jiǎn)便,易于操作等優(yōu)點(diǎn)。
本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N化學(xué)品的循環(huán)管路流量控制系統(tǒng)及其控制方法,該系統(tǒng)包括:存儲(chǔ)容器,其用于存儲(chǔ)化學(xué)品;循環(huán)管路,其兩端分別連接于所述存儲(chǔ)容器的出口和入口,化學(xué)品能夠在所述循環(huán)管路和所述存儲(chǔ)容器中循環(huán)流動(dòng);分配管路,其與所述循環(huán)管路連接,將所述循環(huán)管路中的部分化學(xué)品引導(dǎo)出所述循環(huán)管路;壓力傳感器,其設(shè)置于所述循環(huán)管路,用于檢測(cè)所述循環(huán)管路中化學(xué)品的壓力值;電動(dòng)閥,其設(shè)置于所述循環(huán)管路,所述電動(dòng)閥的開(kāi)度用于調(diào)整所述循環(huán)管路中化學(xué)品的流量從而調(diào)整化學(xué)品在所述循環(huán)管路中的壓力;以及控制器,其根據(jù)所述壓力傳感器檢測(cè)到的壓力控制所述電動(dòng)閥的開(kāi)度,并顯示所述壓力傳感器檢測(cè)到的壓力值。
本發(fā)明公開(kāi)一種葉酸定量檢測(cè)的裝置及制備方法和應(yīng)用,所述葉酸定量檢測(cè)的裝置包括水相池和油相池;所述水相池包括上端開(kāi)口的容器、水相鉑絲對(duì)電極Ⅱ,水相參比電極Ag/AgCl;所述油相池包括有機(jī)凝膠電化學(xué)傳感器、油相鉑絲對(duì)電極Ⅰ,油相參比電極Ag/AgCl;所述的有機(jī)凝膠電化學(xué)傳感器為底部粘有MCM-41型有機(jī)/無(wú)機(jī)復(fù)合介孔膜而上部開(kāi)口的中空管,且中空管中自底向上依次裝有有機(jī)凝膠、混合溶液。制備方法包括MCM-41型有機(jī)/無(wú)機(jī)復(fù)合介孔膜、有機(jī)凝膠、有機(jī)凝膠電化學(xué)傳感器的制備和葉酸定量檢測(cè)的裝置組裝等4個(gè)步驟。利用該裝置對(duì)葉酸進(jìn)行定量檢測(cè)的方法具有很高的靈敏度、精密度、準(zhǔn)確度、回收率和重現(xiàn)性。
本發(fā)明公開(kāi)了一種基于介孔分子篩的電化學(xué)發(fā)光傳感器及其制備方法和應(yīng)用,利用介孔材料ZSM-5大的比表面積、規(guī)則的孔道結(jié)構(gòu)和大的吸附容量等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合Nafion膜較好的陽(yáng)離子交換性能,于玻碳電極表面構(gòu)建一層ZSM-5/Nafion納米膜,將其固載大量的發(fā)光試劑三聯(lián)吡啶釕(Ru(bpy)32+),構(gòu)建基于Ru(bpy)32+/ZSM-5/Nafion的電化學(xué)發(fā)光傳感器,并對(duì)藥物阿奇霉素進(jìn)行電化學(xué)發(fā)光檢測(cè)。結(jié)果表明,采用電化學(xué)發(fā)光方法,介孔ZSM-5納米材料修飾電極可提高檢測(cè)阿奇霉素的靈敏度,檢測(cè)的濃度線(xiàn)性范圍寬,檢測(cè)限低,并且具有良好的穩(wěn)定性、重現(xiàn)性等傳感特性。
本實(shí)用新型屬于化學(xué)反應(yīng)裝置技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種電化學(xué)、質(zhì)譜和紅外光譜技術(shù)聯(lián)用的控溫多功能流動(dòng)電解池。其包括參比電極、輔助電極、疏水透氣膜、玻璃杯體、兩塊圓形板、螺旋測(cè)微頭、熱電偶、陶瓷加熱圈、聚四氟乙烯管等;參比電極、輔助電極和光學(xué)窗口上的催化劑與電化學(xué)工作站相連實(shí)現(xiàn)電化學(xué)測(cè)試和數(shù)據(jù)采集;質(zhì)譜進(jìn)樣管與催化劑表面距離通過(guò)螺旋測(cè)微頭精準(zhǔn)調(diào)節(jié),實(shí)現(xiàn)反應(yīng)界面質(zhì)譜信號(hào)的采集和檢測(cè);電解液溫度通過(guò)池體外側(cè)加熱套和池體內(nèi)側(cè)熱電偶精準(zhǔn)控制;紅外光通過(guò)池體外側(cè)射入光學(xué)窗口,實(shí)現(xiàn)反應(yīng)界面物種的分子水平檢測(cè)。本實(shí)用新型可成為基于電化學(xué)反應(yīng)的電解、電化學(xué)合成、生物電化學(xué)和電化學(xué)傳感器等方面研究和應(yīng)用的強(qiáng)有力工具。
本發(fā)明提供了一種可提高拋光性能的化學(xué)機(jī)械拋光方法?,F(xiàn)有技術(shù)中的第一階段拋光依據(jù)所檢測(cè)到的拋光終點(diǎn)終止拋光,從而使整個(gè)拋光過(guò)程難以控制而出現(xiàn)過(guò)拋凹陷及腐蝕或被拋光層殘留等拋光性能不佳的問(wèn)題。本發(fā)明的可提高拋光性能的化學(xué)機(jī)械拋光方法包括第一階段和第二階段拋光,該第一階段拋光的壓力大于第二階段拋光,該方法先統(tǒng)計(jì)得出第一階段和第二階段拋光的總時(shí)間;然后將第一階段拋光的時(shí)間設(shè)定為該總時(shí)間的60%至80%,且依照所設(shè)定的時(shí)間進(jìn)行第一階段拋光;最后進(jìn)行第二階段拋光且檢測(cè)其拋光終點(diǎn),在檢測(cè)到拋光終點(diǎn)時(shí)停止第二階段拋光。本發(fā)明可大大提高拋光過(guò)程的可控性,從而避免出現(xiàn)過(guò)拋凹陷及腐蝕或被拋光層殘留等拋光性能不佳的現(xiàn)象。
本發(fā)明提供了一種去邊檢測(cè)裝置,包括:探測(cè)組件,其包括信號(hào)發(fā)射器和信號(hào)接收器,用于探測(cè)晶圓邊緣和去邊位置;支撐框架,用于固定上述探測(cè)組件;傳動(dòng)組件,與上述支撐框架相連接;控制單元,控制上述探測(cè)組件在晶圓徑向方向上的平行移動(dòng)并記錄其探測(cè)到晶圓邊緣和去邊位置所對(duì)應(yīng)的行進(jìn)距離,以計(jì)算晶圓的去邊量。此外,本發(fā)明還提供了一種去邊檢測(cè)方法,其能精確地檢測(cè)去邊位置,提高檢測(cè)的可重復(fù)性,并對(duì)化學(xué)電鍍?nèi)ミ吅蟮钠教够M(jìn)行量化的控制,以降低化學(xué)機(jī)械研磨工藝中產(chǎn)生剝落缺陷并造成晶圓劃痕,提高化學(xué)電鍍平坦化的控制,進(jìn)而提高了晶圓的良率。
本實(shí)用新型涉及化學(xué)品投加裝置,尤其涉及一種液態(tài)化學(xué)品投加裝置。一種液態(tài)化學(xué)品自動(dòng)配比投加裝置,它包括化學(xué)品定量投加單元(1)、顯示控制檢測(cè)單元(2)和外部部件,所述化學(xué)品定量投加單元(1)包括儲(chǔ)槽(11)、過(guò)濾器(12)、泵(13)、卸壓閥(14)、背壓閥(15)、混合器(16)和管路,所述顯示控制檢測(cè)單元(2)包括依次連接的傳感器(21)、控制器(22)和變頻器(23),并通過(guò)所述變頻器驅(qū)動(dòng)所述的泵,所述顯示控制檢測(cè)單元的控制器為PLC控制器,該控制器還連接有一個(gè)集狀態(tài)顯示、編程功能于一體的觸摸屏(24)。本實(shí)用新型具有可靠性高、故障率低、操作更加直觀等優(yōu)點(diǎn)。
本發(fā)明屬于傳感器技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種氮摻雜碳納米管修飾的電化學(xué)傳感器及其應(yīng)用。所述電化學(xué)傳感器為三電極體系傳感器,其以玻碳電極表面涂覆有氮摻雜碳納米管響應(yīng)膜的修飾電極為工作電極;可應(yīng)用于檢測(cè)微量鉛。檢測(cè)時(shí)以涂覆有氮摻雜碳納米管響應(yīng)膜的玻碳電極為工作電極,鉑片為對(duì)電極,Ag/AgCl(飽和KCl)為參比電極,采用循環(huán)伏安法工作方式對(duì)鉛離子進(jìn)行檢測(cè)。本發(fā)明的電化學(xué)傳感器能制備簡(jiǎn)單、性能穩(wěn)定且可重復(fù)利用;實(shí)現(xiàn)對(duì)鉛離子的簡(jiǎn)便、快速檢測(cè),性能穩(wěn)定且可重復(fù)利用;檢測(cè)靈敏度高,檢測(cè)下限達(dá)到0.06μM。
本發(fā)明提供一種化學(xué)機(jī)械研磨方法,該方法包括以下步驟:提供多個(gè)具有相似或相同圖形的硅片,這些硅片均具有硅襯底和位于該硅襯底之上的待研磨層,使用化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備將待研磨層研磨至目標(biāo)位置,再進(jìn)行一定時(shí)間Top的過(guò)研磨,其中,使用終點(diǎn)檢測(cè)裝置來(lái)監(jiān)測(cè)研磨終點(diǎn)及監(jiān)測(cè)到該終點(diǎn)后發(fā)出開(kāi)始所述過(guò)研磨的指示,并由該終點(diǎn)檢測(cè)裝置測(cè)得硅片被正常研磨時(shí)抵達(dá)所述終點(diǎn)所經(jīng)歷的平均研磨時(shí)間T1,其中,該方法還包括:當(dāng)多個(gè)硅片中的一個(gè)硅片被研磨至終點(diǎn)時(shí)所經(jīng)歷的實(shí)際研磨時(shí)間T小于T1的70%-85%時(shí),將該硅片的過(guò)研磨時(shí)間Top延長(zhǎng)至Top+(T1-T)。
本發(fā)明涉及電化學(xué)傳感器領(lǐng)域,特別是涉及一種新穎的和改進(jìn)的安培型三電極電化學(xué)傳感器,以用來(lái)檢測(cè)在氣體中的毒性氣體氨或胺類(lèi)。本發(fā)明提供一種三電極電化學(xué)傳感器,包括一個(gè)工作電極、一個(gè)參比電極和一個(gè)對(duì)電極,三個(gè)電極都和液相電解液相接觸并通過(guò)電解液形成離子導(dǎo)通,所述工作電極由一個(gè)多孔的電子導(dǎo)體層組成,所述電子導(dǎo)體層中含有活性物質(zhì),所述活性物質(zhì)選自錳化合物、鈷化合物或鉻化合物中的一種或多種的組合。本發(fā)明所提供了一種新型的、改進(jìn)的電化學(xué)氨氣傳感器,將活性物質(zhì)材料直接存在于工作電極,減少了活性物的丟失,也減少了活性物的浪費(fèi),同時(shí)也保存了活性物,而且傳感器T90也得到了顯著提高。
本發(fā)明提供一種用于核酸等溫?cái)U(kuò)增的電化學(xué)微流控器件的制備及其應(yīng)用。在印刷電極上直接構(gòu)建微流控電化學(xué)傳感器件,包含兩層PDMS芯片,上層的微通道以滿(mǎn)足各種樣品的充分混勻,下層微通道區(qū)域則是反應(yīng)區(qū)和檢測(cè)區(qū);將溫控元件整合到上述器件上;對(duì)電極表面進(jìn)行功能化修飾,針對(duì)乙肝病毒核酸設(shè)計(jì)相應(yīng)的引物,將電化學(xué)報(bào)告分子修飾到引物上,將標(biāo)記好的引物與待檢測(cè)核酸混勻,注入到微流控芯片內(nèi),控制合適溫度,對(duì)待測(cè)核酸樣品進(jìn)行等溫?cái)U(kuò)增反應(yīng)。被標(biāo)記的引物在擴(kuò)增的同時(shí)通過(guò)堿基配對(duì)作用結(jié)合到電極表面。對(duì)電化學(xué)報(bào)告分子檢測(cè),實(shí)現(xiàn)對(duì)病毒的檢測(cè)。本發(fā)明微型化,成本低,便攜,可實(shí)現(xiàn)快速、高靈敏檢測(cè),方便用于野外和家庭診斷。
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