亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 化學(xué)分析技術(shù)

> 化學(xué)機(jī)械拋光工藝中確定研磨時(shí)間的方法

化學(xué)機(jī)械拋光工藝中確定研磨時(shí)間的方法

997   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:57:21
本發(fā)明提供一種化學(xué)機(jī)械拋光工藝中確定研磨時(shí)間的方法,該方法中所述研磨時(shí)間由自動(dòng)處理系統(tǒng)反饋給用于化學(xué)機(jī)械拋光的設(shè)備;所述自動(dòng)處理系統(tǒng)通過(guò)上述拋光設(shè)備最近若干批硅片的研磨參數(shù)來(lái)確定下一批硅片的研磨時(shí)間;所述研磨參數(shù)包括最近M批硅片各自的研磨時(shí)間、最近一次檢測(cè)到的研磨速率RT、及最近M批硅片的平均研磨速率RM;通過(guò)RT與RM的比值來(lái)修正研磨時(shí)間。本發(fā)明揭示的在化學(xué)機(jī)械拋光工藝中確定研磨時(shí)間的方法,考慮到了每天CMP機(jī)臺(tái)研磨速率的變化和差異,用修正系數(shù)RT/RM來(lái)修正研磨時(shí)間,這種方法確定的時(shí)間將更精確。
聲明:
“化學(xué)機(jī)械拋光工藝中確定研磨時(shí)間的方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報(bào) 0
收藏 0
反對(duì) 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
化學(xué)分析
全國(guó)熱門(mén)有色金屬技術(shù)推薦
展開(kāi)更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺(tái)

最新更新技術(shù)

報(bào)名參會(huì)
更多+

報(bào)告下載

第二屆中國(guó)微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會(huì)
推廣

熱門(mén)技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號(hào)

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專(zhuān)利人/作者信息登記