本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體制備用化學(xué)藥液自動(dòng)供給混合系統(tǒng)及方法，包括藥液桶、供給混料機(jī)構(gòu)、換液升降機(jī)構(gòu)、流量檢測(cè)組件和傾斜施力機(jī)構(gòu)，傾斜施力機(jī)構(gòu)設(shè)置在換液升降機(jī)構(gòu)的側(cè)邊，用于推動(dòng)藥液桶繞其底面的棱邊朝向供給混料機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，以使得供給混料機(jī)構(gòu)及時(shí)泵取到藥液桶底部的化學(xué)藥液；控制系統(tǒng)，分別與供給混料機(jī)構(gòu)、換液升降機(jī)構(gòu)、流量檢測(cè)組件和傾斜施力機(jī)構(gòu)連接，控制系統(tǒng)根據(jù)流量檢測(cè)組件的實(shí)時(shí)測(cè)量結(jié)果調(diào)控供給混料機(jī)構(gòu)的泵取工作，且控制系統(tǒng)根據(jù)流量檢測(cè)組件實(shí)時(shí)測(cè)量結(jié)果計(jì)算藥液桶的剩余液量，控制系統(tǒng)基于計(jì)算的剩余液量依次調(diào)控傾斜施力機(jī)構(gòu)和換液升降機(jī)構(gòu)工作。本發(fā)明避免將藥液傾斜聚集，保證化學(xué)藥液的配比比例精度。