一種硅片劃痕拋光劑,涉及硅材料加工技術(shù)領(lǐng)域,由以下重量份的原料制成:乙酸異辛酯3?5份、聚丙烯酰胺4?6份、十二烷基苯磺酸鈉6?8份、硝基苯5?7份、金剛石微粉10?20份、三乙醇胺2?4份、石蠟油12?14份、水楊酸鈉6?8份、抗氧劑5?7份、氧化鎂1?3份、硬脂酸2?4份、云母粉2?4份、空心玻璃微珠2?4份、礦物油5?7份、油酸三乙醇胺2?4份、炭黑3?5份、絡(luò)合劑6?8份、去離子水80?100份。本發(fā)明的有益效果為:本發(fā)明采用的原材料豐富廉價(jià),制作工藝簡(jiǎn)便,適用于硅片的劃痕修復(fù),對(duì)硅片本身沒(méi)有損傷,使用方便,效果顯著,便于推廣及使用。
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