本發(fā)明公開了一種
稀土拋光粉及其制備方法,所述稀土拋光粉,其特征在于,包括如下重量百分比的組分:氧化硅6~10%,稀土氧化物90~94%。本發(fā)明的稀土拋光粉,不引入容易引起劃傷、環(huán)境污染等的氟,保證了拋光的精度;通過對(duì)碳酸稀土預(yù)處理,得到了特定的晶型,確保了鑭以固溶體的形式存在;通過二氧化硅的引入,抑制了拋光過程中氫氧化鑭的形成。本發(fā)明具有生產(chǎn)效率高,成本低、無污染,拋光粉的耐磨性和拋光效率高等特定,適用于集成電路、平面顯示、光學(xué)玻璃等電子信息產(chǎn)業(yè)精密密器件的表面拋光加工。
聲明:
“稀土拋光粉及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)